一種電子級(jí)六氟化硫的多級(jí)制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110142779.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112850654B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112850654B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-03 |
| 分類(lèi)號(hào) | C01B17/45（2006.01）I | 分類(lèi) | 無(wú)機(jī)化學(xué); |
| 發(fā)明人 | 華祥斌;賴(lài)金香;張朝春;劉志強(qiáng);羅浩;邱桂祥 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 福建德?tīng)柨萍脊煞萦邢薰?/a> |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廈門(mén)原創(chuàng)專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 364000福建省龍巖市上杭縣蛟洋鎮(zhèn)蛟洋工業(yè)集中區(qū)工業(yè)路6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種電子級(jí)六氟化硫的多級(jí)制備方法，包括：將氟氣通入臥式SF6反應(yīng)單元，并與硫磺蒸汽在195～205℃持續(xù)反應(yīng)形成SF6粗氣；將反應(yīng)單元SF6粗氣除塵后通入熱解單元中，將SF6粗氣中的S2F10氣體熱解；將步驟S2處理后的混合氣體通入水洗單元進(jìn)行水洗，得到一級(jí)純化氣體；將反應(yīng)單元一級(jí)純化氣體通入堿洗單元進(jìn)行堿洗，得到二級(jí)純化氣體；將反應(yīng)單元二級(jí)純化氣體通入水氣分離單元以去除水分得到三級(jí)純化氣體；將反應(yīng)單元三級(jí)純化氣體通入低壓吸附單元中吸附，得到四級(jí)純化氣體；將反應(yīng)單元四級(jí)純化氣體通入高壓吸附單元中吸附得到五級(jí)純化氣體；將反應(yīng)單元五級(jí)純化氣體通入精餾單元進(jìn)行精餾，得到電子級(jí)六氟化硫。 |
