電子級(jí)三氟化氯的純化系統(tǒng)及其溫差動(dòng)力控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210043269.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114538380A 公開（公告）日 2022-05-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN114538380A 申請(qǐng)公布日 2022-05-27
分類號(hào) C01B7/24（2006.01）I;B01D3/14（2006.01）I;B01D3/32（2006.01）I;B01D3/42（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 李向如;李嘉磊;申黎明;陳施華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 福建德爾科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門原創(chuàng)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 364000福建省龍巖市上杭縣蛟洋鎮(zhèn)蛟洋工業(yè)集中區(qū)工業(yè)路6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電子級(jí)三氟化氯的純化系統(tǒng)及溫差動(dòng)力控制方法。所述純化系統(tǒng)包括：順序連接的第一哈氏合金冷凝器、第一哈氏合金升溫罐體、哈氏合金耐壓升溫罐體、3級(jí)金屬吸附劑層床、2級(jí)低溫精餾裝置、液化罐體以及穩(wěn)壓罐體；其中，所述第一哈氏合金冷凝器的進(jìn)料端設(shè)置于其頂端且與反應(yīng)器相連通，所述第一哈氏合金冷凝器的出料端設(shè)置于其底端且與所述第一哈氏合金升溫罐體的進(jìn)料端連接；所述第一哈氏合金冷凝器用于將所述反應(yīng)器產(chǎn)生的三氟化氯粗產(chǎn)品進(jìn)行冷凝，從而通過溫度差來給所述反應(yīng)器出口氣體提供動(dòng)力。