高壓超結(jié)襯底的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010284469.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111463262A 公開（公告）日 2020-07-28
申請公布號 CN111463262A 申請公布日 2020-07-28
分類號 H01L29/06(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 張廣銀;白玉明;楊飛;吳凱;朱陽軍 申請（專利權(quán)）人 南京芯長征科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州國誠專利代理有限公司 代理人 南京芯長征科技有限公司
地址 211100江蘇省南京市江寧區(qū)蘇源大道19號九龍湖國際企業(yè)總部園A2座10層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種高壓超結(jié)襯底的制備方法，其在基層襯底上通過外延工藝制備襯底耐壓輔助層以及超結(jié)耐壓層，通過溝槽刻蝕工藝在襯底耐壓輔助層內(nèi)得到襯底輔助層溝槽，對超結(jié)耐壓層溝槽刻蝕后得到耐壓輔助通孔，整個工藝過程與現(xiàn)有工藝兼容，由于采用同一光刻版刻蝕得到耐壓輔助通孔以及襯底輔助層溝槽，能有效降低刻蝕難度，同時，刻蝕得到的襯底輔助層溝槽以及耐壓輔助通孔具有很好的垂直性，側(cè)壁一致性較好，深寬比減小，降低了輔助層溝槽填充體、輔助通孔填充體填充的難度，減少了空洞和缺陷的形成，電荷平衡得到加強，有利于擊穿電壓的提高，技術(shù)難度得到大幅的降低，為超結(jié)應(yīng)用在特高壓領(lǐng)域奠定基礎(chǔ)。??