一種多晶硅提純裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201120017725.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN202022753U 公開(kāi)（公告）日 2011-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN202022753U 申請(qǐng)公布日 2011-11-02
分類(lèi)號(hào) C01B33/037(2006.01)I 分類(lèi) 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 明瑞法;楊強(qiáng);肖實(shí)生;楊建云;楊旸 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江西開(kāi)昂新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 338000 江西省新余市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)光明路1488號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型的目的是提供一種改進(jìn)的多晶硅提純裝置，包括：電磁感應(yīng)熔煉單元(001)，以電磁感應(yīng)加溫熔融金屬硅料生成高溫硅液；等離子冶煉爐(200)，在真空環(huán)境下離子束吹氣氧化冶煉高溫硅液；恒溫石英導(dǎo)管(101)，將等離子冶煉爐(200)內(nèi)的高溫硅液恒溫導(dǎo)入電子束熔煉爐(305)；電子束熔煉爐(305)，在真空環(huán)境下以高能電子束轟擊高溫硅液；定向凝固單元(401)，使從電子束熔煉爐(305)流出的高溫硅液在上下溫度梯度下定向冷卻凝固并均勻拉坯。本實(shí)用新型將離子束吹氣氧化和電子束熔煉在各自獨(dú)立的真空環(huán)境進(jìn)行，提供最優(yōu)除雜提純工藝。設(shè)備簡(jiǎn)單，成本低廉，工藝可控，減少中間污染環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了低能耗、快速高效生產(chǎn)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅。