一種多晶硅提純裝置
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201120017725.3 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN202022753U | 公開(kāi)(公告)日 | 2011-11-02 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN202022753U | 申請(qǐng)公布日 | 2011-11-02 |
分類(lèi)號(hào) | C01B33/037(2006.01)I | 分類(lèi) | 無(wú)機(jī)化學(xué); |
發(fā)明人 | 明瑞法;楊強(qiáng);肖實(shí)生;楊建云;楊旸 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 江西開(kāi)昂新能源科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
地址 | 338000 江西省新余市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)光明路1488號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型的目的是提供一種改進(jìn)的多晶硅提純裝置,包括:電磁感應(yīng)熔煉單元(001),以電磁感應(yīng)加溫熔融金屬硅料生成高溫硅液;等離子冶煉爐(200),在真空環(huán)境下離子束吹氣氧化冶煉高溫硅液;恒溫石英導(dǎo)管(101),將等離子冶煉爐(200)內(nèi)的高溫硅液恒溫導(dǎo)入電子束熔煉爐(305);電子束熔煉爐(305),在真空環(huán)境下以高能電子束轟擊高溫硅液;定向凝固單元(401),使從電子束熔煉爐(305)流出的高溫硅液在上下溫度梯度下定向冷卻凝固并均勻拉坯。本實(shí)用新型將離子束吹氣氧化和電子束熔煉在各自獨(dú)立的真空環(huán)境進(jìn)行,提供最優(yōu)除雜提純工藝。設(shè)備簡(jiǎn)單,成本低廉,工藝可控,減少中間污染環(huán)節(jié),實(shí)現(xiàn)了低能耗、快速高效生產(chǎn)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅。 |
