一種多晶硅提純裝置及提純方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110022399.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102602933A 公開（公告）日 2012-07-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN102602933A 申請(qǐng)公布日 2012-07-25
分類號(hào) C01B33/037(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 明瑞法;楊強(qiáng);肖實(shí)生;楊建云;楊旸 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江西開昂新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 338000 江西省新余市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)光明路1488號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的目的是提供一種改進(jìn)的多晶硅提純裝置和提純方法，所述裝置包括：電磁感應(yīng)熔煉單元(001)、等離子冶煉爐(200)、恒溫石英導(dǎo)管(101)、電子束熔煉爐(305)以及定向凝固單元(401)。所述多晶硅提純方法包括：電磁感應(yīng)熔煉步驟、等離子冶煉步驟、電子束熔煉步驟以及定向凝固步驟，使電子束熔煉后的高溫硅液在上下溫度梯度下定向冷卻凝固并均勻拉坯。本發(fā)明將離子束吹氣氧化和電子束熔煉在各自獨(dú)立的真空環(huán)境進(jìn)行，提供最優(yōu)除雜提純工藝。設(shè)備簡單，成本低廉，工藝可控，減少中間污染環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了低能耗、快速高效生產(chǎn)太陽能級(jí)多晶硅。