一種芯片光電測試機構及其測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010756738.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111880080A 公開（公告）日 2020-11-03
申請公布號 CN111880080A 申請公布日 2020-11-03
分類號 G01R31/28(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 宋玉華;孟和法;張國濤 申請（專利權）人 蘇州獵奇智能設備有限公司
代理機構 南京縱橫知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 蘇州獵奇智能設備有限公司
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)億升路398號3號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種芯片光電測試機構，包括若干個用于收納產(chǎn)品的工件臺，以及若干個位于工件臺上方的供電頭，工件臺外側設置有與工件臺上的產(chǎn)品對應的光電檢測機構；光電檢測機構包括若干組相對設置的光電測試模組，光電測試模組包括光特性測試頭和電特性測試頭；相對設置的光電測試模組中的光特性測試頭和電特性測試頭交叉設置；光電測試模組能相對工件臺往復位移。本發(fā)明提供了一種操作便捷、檢測穩(wěn)定、具有集成化上電功能的芯片光電測試機構，能夠實現(xiàn)光測試和電測試的交互測試。??