一種金屬焊球的制備裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921969552.8 申請日 -
公開（公告）號 CN210429739U 公開（公告）日 2020-04-28
申請公布號 CN210429739U 申請公布日 2020-04-28
分類號 H01L21/48;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 華菲 申請（專利權(quán)）人 寧波施捷電子有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 寧波施捷電子有限公司
地址 315824 浙江省寧波市北侖區(qū)新碶明州西路491號1幢1號-63-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種金屬焊球的制備裝置，包括但不限于噴霧腔體、液滴發(fā)生單元、充電單元、監(jiān)測單元、溫度控制單元、壓力控制單元與收集單元；所述液滴發(fā)生單元包括但不限于熔融液容器、設(shè)置于熔融液容器底部的至少一個射流口以及使熔融液振動的振動模塊；液滴發(fā)生單元通過所述射流口與噴霧腔體連通；所述充電單元用于為熔融液充電；所述監(jiān)測單元設(shè)置于噴霧腔體的外部，用于實時監(jiān)測噴霧腔體內(nèi)液滴成型情況；所述溫度控制單元用于控制熔融液容器的溫度；所述壓力控制單元分別獨立地控制噴霧腔體與熔融液容器的壓力；所述收集單元設(shè)置于噴霧腔體的底部，用于收集金屬焊球。所述金屬焊球的制備裝置便于控制，制備得到的焊球粒徑均一。