一種金屬焊球的制備裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921969552.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210429739U 公開(kāi)（公告）日 2020-04-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN210429739U 申請(qǐng)公布日 2020-04-28
分類號(hào) H01L21/48;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 華菲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波施捷電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 寧波施捷電子有限公司
地址 315824 浙江省寧波市北侖區(qū)新碶明州西路491號(hào)1幢1號(hào)-63-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種金屬焊球的制備裝置，包括但不限于噴霧腔體、液滴發(fā)生單元、充電單元、監(jiān)測(cè)單元、溫度控制單元、壓力控制單元與收集單元；所述液滴發(fā)生單元包括但不限于熔融液容器、設(shè)置于熔融液容器底部的至少一個(gè)射流口以及使熔融液振動(dòng)的振動(dòng)模塊；液滴發(fā)生單元通過(guò)所述射流口與噴霧腔體連通；所述充電單元用于為熔融液充電；所述監(jiān)測(cè)單元設(shè)置于噴霧腔體的外部，用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)噴霧腔體內(nèi)液滴成型情況；所述溫度控制單元用于控制熔融液容器的溫度；所述壓力控制單元分別獨(dú)立地控制噴霧腔體與熔融液容器的壓力；所述收集單元設(shè)置于噴霧腔體的底部，用于收集金屬焊球。所述金屬焊球的制備裝置便于控制，制備得到的焊球粒徑均一。