一種靜電狀態(tài)的容量形狀異變檢測

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110217949.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112857463A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112857463A 申請公布日 2021-05-28
分類號 G01D21/02(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 黃澄珵;黃新生 申請（專利權(quán)）人 艾極倍特（上海）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201400上海市奉賢區(qū)南橋鎮(zhèn)八字橋路1919號2幢8層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種靜電狀態(tài)的容量形狀異變檢測，所述電狀態(tài)的容量形狀異變檢測包括一個(gè)圓柱形外筒，所述圓柱形外筒以滑動(dòng)裝入有金屬滑動(dòng)軸，所述滑動(dòng)軸外滑動(dòng)連接有外管，且外管外設(shè)置有采樣電路，所述滑動(dòng)軸外設(shè)置有輸出裝置和電極和保護(hù)極，本發(fā)明可以制造更長的測量行程,精度和分辨率不變,大大降低了其制作成本，而控制單元電極單元可以在接下來的分鐘內(nèi)分離,并且保護(hù)電極可以消除電極向性可能具有的檢測周圍的電極的雜散電容和分布電容，電極和保護(hù)電極僅的構(gòu)造，圓柱外筒等輥形狀可以是自由形狀，此外由于串聯(lián)和平行于檢測到的電容添加的半導(dǎo)體和電介質(zhì)的電阻,精度沒有降低，可有效的提高其使用范圍。??