一種試料抓取結(jié)構(gòu)及試料基座

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121616569.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215481244U 公開（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN215481244U 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) C23C14/56（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 牟培福;高軍思;牟成陽 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波天德創(chuàng)新智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京隆源天恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張曉會(huì)
地址 315800浙江省寧波市北侖區(qū)大碶甬江南路58號(hào)1幢01室一層-1、二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種試料抓取結(jié)構(gòu)及試料基座，涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，所述試料抓取結(jié)構(gòu)包括試料抓手和試料盤，試料抓手上設(shè)有抓取鉤，試料盤上設(shè)有與抓取鉤相適配的對(duì)接鉤，抓取鉤適于與對(duì)接鉤相套對(duì)接以限制試料抓手相對(duì)試料盤滑動(dòng)，試料盤內(nèi)適于放置試料基片。本實(shí)用新型的試料抓取結(jié)構(gòu)，通過在試料抓手上設(shè)抓取鉤，在試料盤上設(shè)對(duì)接鉤，抓取鉤與對(duì)接鉤之間通過旋轉(zhuǎn)對(duì)接鎖緊，相較于現(xiàn)有真空吸拿和電磁吸拿抓手相比，抓取牢靠，不易脫鉤，穩(wěn)定性更好。