適用于氧化鎵晶體的生長設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010703748.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111719180A | 公開（公告）日 | 2020-09-29 |
| 申請公布號 | CN111719180A | 申請公布日 | 2020-09-29 |
| 分類號 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 肖迪 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇利瀧半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 南京樂羽知行專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 江蘇利瀧半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 221300江蘇省徐州市邳州市邳州經(jīng)濟開發(fā)區(qū)環(huán)城北路北側(cè)、紅旗路東側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請公開了一種適用于氧化鎵晶體的生長設(shè)備，包括爐體、圓筒、底板、連接桿、氣體排出口、電機、氣缸、固定套、蓋板、通孔、提拉桿、籽晶、晶體、坩堝、托板、方型桿、方孔套、承載桿、承載托球、球體、球罩、限位環(huán)、螺旋彈簧、推桿、固定支架、加熱器和導(dǎo)熱條板。本申請有益之處對坩堝的加熱效果較好，通過彈力壓緊機構(gòu)的設(shè)置，可為加熱器和導(dǎo)熱條板提供壓力，保持與坩堝的接觸，直接進行熱傳遞，通過導(dǎo)熱條板的設(shè)置保障了接觸面，提高了導(dǎo)熱效果；坩堝與電機的連接處設(shè)置了伸縮桿件，之間的距離可調(diào)，配合氣缸的設(shè)置，可改變坩堝的高度，便于整體的使用。?? |
