一種全自動非晶制程下蠟系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201811336133.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN109449103B | 公開（公告）日 | 2019-03-08 |
| 申請公布號 | CN109449103B | 申請公布日 | 2019-03-08 |
| 分類號 | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 肖迪 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇利瀧半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 221300江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)外環(huán)路與紅旗路交匯處 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種下蠟系統(tǒng)，本下蠟系統(tǒng)包括：處理單元、加熱裝置，以及投液裝置；其中所述加熱裝置上開設(shè)若干加熱槽，所述加熱槽適于放置蠟貼非晶片的陶瓷盤；以及所述處理單元適于控制所述加熱裝置以對所述加熱槽內(nèi)進行加熱，且控制所述投液裝置向非晶片表面噴射下蠟液以使非晶片從陶瓷盤上脫落；本發(fā)明實現(xiàn)了自動化控制下蠟的功能，克服了傳統(tǒng)的需要人工搬運，對蠟貼非晶片進行人工揭落的問題，節(jié)省了人力、物力，并且提高了下蠟效率。?? |
