甲醛傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110869982.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113686926A 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN113686926A 申請公布日 2021-11-23
分類號 G01N27/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 周志斌;楊怡;喻魁蘭 申請（專利權）人 南昌攀藤科技有限公司
代理機構 北京東方匯眾知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 王慶彬
地址 330000 江西省南昌市南昌經濟技術開發(fā)區(qū)昱博科技園3#廠房三層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種甲醛傳感器及其制備方法，屬于甲醛檢測領域。本發(fā)明的甲醛傳感器包括MEMS基底、甲醛敏感材料層和摻雜層，MEMS基底為一種微型加熱和叉指電極復合硅片，甲醛敏感材料層為金屬氧化物鹽溶液，覆蓋于MEMS基底之上，摻雜層為貴金屬溶液，覆蓋于甲醛敏感材料層之上。本發(fā)明制備的甲醛傳感器具有高靈敏度、低檢測限、響應時間短和低成本、可大規(guī)模制造等優(yōu)勢。