鏡片鍍膜視覺(jué)監(jiān)控系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201721635946.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN207610840U 公開(kāi)(公告)日 2018-07-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN207610840U 申請(qǐng)公布日 2018-07-13
分類號(hào) G01M11/02;G05D5/03 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 金辰門 申請(qǐng)(專利權(quán))人 艾維特真空技術(shù)丹陽(yáng)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州興瑞專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 談敏
地址 212300 江蘇省鎮(zhèn)江市丹陽(yáng)市開(kāi)發(fā)區(qū)葛丹公路101號(hào)A區(qū)0948號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供的鏡片鍍膜視覺(jué)監(jiān)控系統(tǒng),包括真空室,真空室的底部安裝有電子束源和離子源,真空室頂部有工件旋轉(zhuǎn)架,工件旋轉(zhuǎn)架的下端設(shè)有球面工件盤,球面工件盤上設(shè)有若干個(gè)鏡片安裝孔,球面工件盤的頂部中心設(shè)有觀察孔,觀察孔上方裝有光學(xué)測(cè)試片,光學(xué)測(cè)試片的上方設(shè)置有濾光鏡,濾光鏡的上方設(shè)有彩色相機(jī)和反射光源,彩色相機(jī)連接有圖像采集與分析系統(tǒng),圖像采集與分析系統(tǒng)連接有膜厚沉積控制系統(tǒng),膜厚沉積控制系統(tǒng)包括膜厚控制器,膜厚控制器與電子束源連接。本實(shí)用新型將薄膜工藝過(guò)程中的監(jiān)控基準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化,使得產(chǎn)品的透光率、顏色和硬度等指標(biāo)都能可靠、精確、穩(wěn)定地控制在較小偏差范圍內(nèi),解決人為監(jiān)測(cè)和人為控制節(jié)點(diǎn)的偏差問(wèn)題。