鏡片鍍膜視覺(jué)監(jiān)控系統(tǒng)及其使用方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201711234718.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN107764523A | 公開（公告）日 | 2018-03-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN107764523A | 申請(qǐng)公布日 | 2018-03-06 |
| 分類號(hào) | G01M11/02;G05D5/03 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 金辰門 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 艾維特真空技術(shù)丹陽(yáng)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 常州興瑞專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 談敏 |
| 地址 | 212300 江蘇省鎮(zhèn)江市丹陽(yáng)市開發(fā)區(qū)高新技術(shù)創(chuàng)業(yè)園A座 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供的鏡片鍍膜視覺(jué)監(jiān)控系統(tǒng),包括真空室，真空室的底部安裝有電子束源和離子源，真空室頂部有工件旋轉(zhuǎn)架，工件旋轉(zhuǎn)架的下端設(shè)有球面工件盤，球面工件盤上設(shè)有若干個(gè)鏡片安裝孔，球面工件盤的頂部中心設(shè)有觀察孔，觀察孔上方裝有光學(xué)測(cè)試片，光學(xué)測(cè)試片的上方設(shè)置有濾光鏡，濾光鏡的上方設(shè)有彩色相機(jī)和反射光源，彩色相機(jī)連接有圖像采集與分析系統(tǒng)，圖像采集與分析系統(tǒng)連接有膜厚沉積控制系統(tǒng)，膜厚沉積控制系統(tǒng)包括膜厚控制器，膜厚控制器與電子束源連接。本發(fā)明將薄膜工藝過(guò)程中的監(jiān)控基準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化，使得產(chǎn)品的透光率、顏色和硬度等指標(biāo)都能可靠、精確、穩(wěn)定地控制在較小偏差范圍內(nèi)，解決人為監(jiān)測(cè)和人為控制節(jié)點(diǎn)的偏差問(wèn)題，解放人力。 |
