鏡片鍍膜視覺監(jiān)控系統(tǒng)及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711234718.7 申請日 -
公開（公告）號 CN107764523A 公開（公告）日 2018-03-06
申請公布號 CN107764523A 申請公布日 2018-03-06
分類號 G01M11/02;G05D5/03 分類 測量；測試;
發(fā)明人 金辰門 申請（專利權(quán)）人 艾維特真空技術(shù)丹陽有限公司
代理機構(gòu) 常州興瑞專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 談敏
地址 212300 江蘇省鎮(zhèn)江市丹陽市開發(fā)區(qū)高新技術(shù)創(chuàng)業(yè)園A座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供的鏡片鍍膜視覺監(jiān)控系統(tǒng),包括真空室，真空室的底部安裝有電子束源和離子源，真空室頂部有工件旋轉(zhuǎn)架，工件旋轉(zhuǎn)架的下端設(shè)有球面工件盤，球面工件盤上設(shè)有若干個鏡片安裝孔，球面工件盤的頂部中心設(shè)有觀察孔，觀察孔上方裝有光學(xué)測試片，光學(xué)測試片的上方設(shè)置有濾光鏡，濾光鏡的上方設(shè)有彩色相機和反射光源，彩色相機連接有圖像采集與分析系統(tǒng)，圖像采集與分析系統(tǒng)連接有膜厚沉積控制系統(tǒng)，膜厚沉積控制系統(tǒng)包括膜厚控制器，膜厚控制器與電子束源連接。本發(fā)明將薄膜工藝過程中的監(jiān)控基準實現(xiàn)標準化，使得產(chǎn)品的透光率、顏色和硬度等指標都能可靠、精確、穩(wěn)定地控制在較小偏差范圍內(nèi)，解決人為監(jiān)測和人為控制節(jié)點的偏差問題，解放人力。