貼合用真空裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420376158.4 申請日 -
公開（公告）號 CN203957482U 公開（公告）日 2014-11-26
申請公布號 CN203957482U 申請公布日 2014-11-26
分類號 B32B37/10(2006.01)I 分類 層狀產品;
發(fā)明人 宋燕;張仕杰 申請（專利權）人 蘇州英多精工科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)勝浦鎮(zhèn)潤勝路32號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種貼合用真空裝置，其包括：氣缸、直線軸承、導向軸、軸、電磁閥、直線電機、壓力傳感器、拖鏈；所述導向軸的兩端分別與所述直線軸承和軸相連接；所述貼合用真空裝置還包括上基板和下基板，所述氣缸位于所述上基板上，所述上基板和下基板兩端滑動設置于所述導向軸上，所述軸和電磁閥固定于所述下基板的下方；所述直線電機位于所述導向軸的一側，且直線電機位于所述上基板和下基板之間，所述壓力傳感器與所述直線電機相對設置，且固定于所述下基板下方。本實用新型的貼合用真空裝置結構設計合理、使用方便、具有較高的貼合精度，具體地，精度可達到微米級。