一種一體式晶圓出貨影像留存設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610225525.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105679697B 公開（公告）日 2018-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN105679697B 申請(qǐng)公布日 2018-09-07
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈順金;王印璽;鄭李 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽超元半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥市浩智運(yùn)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王林
地址 234000 安徽省宿州市拱辰路8號(hào)科技大廈高新區(qū)管委會(huì)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種一體式晶圓出貨影像留存設(shè)備,包括靜電操作臺(tái)、金屬擋板、攝像設(shè)備、靜電紙和放置區(qū)域；所述金屬擋板有三塊，分別沿靜電操作臺(tái)的工作面的三條邊垂直向上設(shè)置，所述攝像設(shè)備分別設(shè)置在各個(gè)金屬擋板的頂部，所述放置區(qū)域凸起設(shè)置在靜電操作臺(tái)的工作面上，所述靜電紙?jiān)O(shè)置于所述放置區(qū)域內(nèi)。本發(fā)明的晶圓出貨包裝完畢,將其放入本設(shè)備中，刷入此批次晶圓后既可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)三維拍照，三維照片上將儲(chǔ)存該批次信息以便追溯，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。