一種晶圓打墨印裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201510734544.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN106560911A | 公開(kāi)（公告）日 | 2017-04-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN106560911A | 申請(qǐng)公布日 | 2017-04-12 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 沈順金 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 安徽超元半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海集信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 任永武 |
| 地址 | 226100 江蘇省南通市海門(mén)市三廠(chǎng)街道工人新村310幢108室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓打墨印裝置，涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括水平底座和垂直底座，所述水平底座通過(guò)固定螺母與垂直底座相連，所述垂直底座上安裝有固定支架，所述固定支架上安裝有墨印器鎖定夾，所述墨印器鎖定夾上安裝有墨印器。本發(fā)明晶圓打墨印裝置，通過(guò)在水平底座開(kāi)設(shè)伸縮孔，伸縮孔上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母來(lái)調(diào)節(jié)水平位置；垂直底座與固定支架之間通過(guò)安裝高度調(diào)節(jié)螺母來(lái)調(diào)節(jié)高度；墨印劑垂直固定在支桿上，通過(guò)漁線(xiàn)接觸晶粒完成打墨印動(dòng)作，增大了晶圓與打墨印裝置的距離，大大降低了刮傷晶圓的風(fēng)險(xiǎn)，有效避免了晶圓刮傷；具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便的特點(diǎn)，可以安裝在針測(cè)機(jī)空間比較開(kāi)闊的位置，方便人員操作。 |
