一種晶圓打墨印裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510734544.5 申請日 -
公開（公告）號 CN106560911A 公開（公告）日 2017-04-12
申請公布號 CN106560911A 申請公布日 2017-04-12
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈順金 申請（專利權）人 安徽超元半導體有限公司
代理機構 上海集信知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 任永武
地址 226100 江蘇省南通市海門市三廠街道工人新村310幢108室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓打墨印裝置，涉及半導體制造設備技術領域，包括水平底座和垂直底座，所述水平底座通過固定螺母與垂直底座相連，所述垂直底座上安裝有固定支架，所述固定支架上安裝有墨印器鎖定夾，所述墨印器鎖定夾上安裝有墨印器。本發(fā)明晶圓打墨印裝置，通過在水平底座開設伸縮孔，伸縮孔上安裝有伸縮調(diào)節(jié)螺母來調(diào)節(jié)水平位置；垂直底座與固定支架之間通過安裝高度調(diào)節(jié)螺母來調(diào)節(jié)高度；墨印劑垂直固定在支桿上，通過漁線接觸晶粒完成打墨印動作，增大了晶圓與打墨印裝置的距離，大大降低了刮傷晶圓的風險，有效避免了晶圓刮傷；具有結(jié)構簡單、使用方便的特點，可以安裝在針測機空間比較開闊的位置，方便人員操作。