一種晶圓針測機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710195259.X 申請日 -
公開（公告）號 CN106990348A 公開（公告）日 2017-07-28
申請公布號 CN106990348A 申請公布日 2017-07-28
分類號 G01R31/28(2006.01)I;G05D27/02(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王印璽;陶源;江姜 申請（專利權(quán)）人 安徽超元半導體有限公司
代理機構(gòu) 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董澤宇
地址 247100 安徽省池州市貴池區(qū)池州市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園17號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種晶圓針測機，屬于晶圓測試設備領(lǐng)域。包括針測機主體、晶圓傳輸裝置、空氣凈化器一、空氣凈化器二和溫濕度控制器，所述晶圓傳輸裝置與針測機主體相連，空氣凈化器一固定在晶圓傳輸裝置上，針測機主體上安裝有空氣凈化器二和溫濕度控制器；本發(fā)明可以在非潔凈室環(huán)境下進行晶圓測試，解決了針測機對晶圓做針測必須在無塵室內(nèi)進行的問題，為企業(yè)大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。