一種晶圓轉(zhuǎn)換器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020474229.X 申請日 -
公開（公告）號 CN211507590U 公開（公告）日 2020-09-15
申請公布號 CN211507590U 申請公布日 2020-09-15
分類號 H01L21/677(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 姜祿 申請（專利權）人 安徽超元半導體有限公司
代理機構 合肥市浩智運專利代理事務所（普通合伙） 代理人 杜丹丹
地址 247000安徽省池州市池州經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園17號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓轉(zhuǎn)換器，包括平臺、固定架、分體式推桿和推動裝置；所述平臺包括初始晶舟放置區(qū)和目的晶舟放置區(qū)；所述固定架固定在初始晶舟放置區(qū)遠離目的晶舟放置區(qū)的一端，所述分體式推桿頂部與固定架頂部可拆卸式連接，所述分體式推桿底部可拆卸式連接在所述推動裝置的一端，所述推動裝置另一端固定在平臺上；所述分體式推桿由多個推桿模塊可拆卸式連接組成，推動所述推動裝置能夠致使所述推桿模塊將晶圓由初始晶舟放置區(qū)推送至目的晶舟放置區(qū)。本實用新型的優(yōu)點在于，通過分體式推桿與所述推動裝置和固定架可拆卸式連接，以及分體式推桿自身的可拆卸連接，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的整批轉(zhuǎn)換，還能實現(xiàn)晶圓的分批轉(zhuǎn)換，適用性更強。??