一種針測(cè)機(jī)承載盤的降溫裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510692606.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106560665A 公開（公告）日 2017-04-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN106560665A 申請(qǐng)公布日 2017-04-12
分類號(hào) F25D1/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 制冷或冷卻；加熱和制冷的聯(lián)合系統(tǒng)；熱泵系統(tǒng)；冰的制造或儲(chǔ)存；氣體的液化或固化;
發(fā)明人 沈順金 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽超元半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海集信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 任永武
地址 247100 安徽省池州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園17號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種針測(cè)機(jī)承載盤的降溫裝置，包括風(fēng)機(jī)、進(jìn)氣管、壓縮空氣開關(guān)、進(jìn)氣接口、中空密封裝置、承載盤，所述風(fēng)機(jī)與進(jìn)氣管、壓縮空氣開關(guān)依次連接，所述進(jìn)氣接口安裝在中空密封裝置上，所述壓縮空氣開關(guān)通過連接管與進(jìn)氣接口相連，所述中空密封裝置的下表面開設(shè)有出氣孔，所述出氣孔的下方固定有所述承載盤。本發(fā)明降溫裝置，通過風(fēng)機(jī)、進(jìn)氣管、壓縮空氣閥門、連接管、中空密封裝置構(gòu)成外部吹氣裝置對(duì)承載盤進(jìn)行吹氣降溫，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、降溫效果好的特點(diǎn)；能夠有效地避免降溫過程導(dǎo)致的承載盤磕碰；能夠清除針測(cè)機(jī)承載盤上存留的灰塵或其他顆粒，有效地避免存留顆粒造成的暗裂和破片風(fēng)險(xiǎn)。