一種晶圓針測(cè)機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720314259.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206756992U 公開（公告）日 2017-12-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN206756992U 申請(qǐng)公布日 2017-12-15
分類號(hào) G01R31/28(2006.01)I;G05D27/02(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王印璽;陶源;江姜 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽超元半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董澤宇
地址 247100 安徽省池州市貴池區(qū)池州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園17號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種晶圓針測(cè)機(jī)，屬于晶圓測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域。包括針測(cè)機(jī)主體、晶圓傳輸裝置、空氣凈化器一、空氣凈化器二和溫濕度控制器，所述晶圓傳輸裝置與針測(cè)機(jī)主體相連，空氣凈化器一固定在晶圓傳輸裝置上，針測(cè)機(jī)主體上安裝有空氣凈化器二和溫濕度控制器；本實(shí)用新型可以在非潔凈室環(huán)境下進(jìn)行晶圓測(cè)試，解決了針測(cè)機(jī)對(duì)晶圓做針測(cè)必須在無(wú)塵室內(nèi)進(jìn)行的問題，為企業(yè)大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。