線圈的制備方法及線圈

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910223675.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109930184A 公開（公告）日 2019-06-25
申請公布號 CN109930184A 申請公布日 2019-06-25
分類號 C25D3/38（2006.01）I; C25D5/02（2006.01）I; C25D5/10（2006.01）I; C25D7/06（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 張蕓; 趙威; 董培培; 張星星; 王靖 申請（專利權(quán)）人 蘇州昕皓新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 北京卓唐知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇州昕皓新材料科技有限公司
地址 215200 江蘇省蘇州市吳江區(qū)吳江經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)長安路東側(cè)（科技創(chuàng)業(yè)園）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種線圈的制備方法及線圈。該方法基于預(yù)處理的基板進行，基板包括基板主體和線圈單元，線圈單元的下端面固定在基板主體的上端面上，線圈單元包括銅線繞制而成的銅線圈，相鄰兩圈銅線之間填充有光阻，方法包括以下步驟：第一次電鍍：利用第一電鍍液在銅線圈上進行第一次鍍銅；除光阻：利用光阻清洗液除去光阻，暴露出光阻下方的基板主體表面的金屬層；去底銅：利用銅腐蝕液去除金屬銅層，暴露出銅層下方的鎳鉻合金層；去鎳鉻合金層：利用鎳鉻合金腐蝕液去除鎳鉻合金層；第二次電鍍：利用第二電鍍液在銅線圈上進行第二次鍍銅，完成制備。本申請解決了現(xiàn)有的線圈制備方法無法制備性能優(yōu)良的窄線寬、窄線距、高厚度的線圈的技術(shù)問題。