一種單晶爐下氬氣雙向噴射的噴頭
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022699829.9 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN213570821U | 公開(公告)日 | 2021-06-29 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN213570821U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-29 |
分類號(hào) | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 閆斌;王軍磊;王藝澄 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 江蘇美科太陽能科技股份有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 南京利豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) | 代理人 | 任立 |
地址 | 014000內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市昆都侖區(qū)金屬深加工園區(qū)拓業(yè)路1號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種單晶爐下氬氣雙向噴射的噴頭,設(shè)置于閥倉和爐蓋配合處,包括法蘭、氬氣進(jìn)氣管及氬氣排氣管,氬氣排氣管設(shè)置于法蘭的內(nèi)壁圍成一個(gè)圓環(huán)形,氬氣進(jìn)氣管穿透法蘭的一端與氬氣排氣管連通,其中:氬氣排氣管分為半圓環(huán)形的加工區(qū)和半圓環(huán)形的未加工區(qū),加工區(qū)和未加工區(qū)對(duì)稱劃分,未加工區(qū)的氬氣排氣管為實(shí)心管,加工區(qū)的氬氣排氣管為空心管路,氬氣排氣管上加工區(qū)和未加工區(qū)的交界處分別設(shè)有氬氣出口,該噴頭結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,互換性好,便于清理,改變了氬氣噴射方式,兩路氬氣對(duì)沖式噴射,增大了氬氣噴射范圍,增加了氬氣均勻分布,快速有效的帶走氧化物。 |
