一種用于提升單晶生長(zhǎng)速度的裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110916238.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113481591A 公開（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113481591A 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 蘭志勇;王軍磊;王藝澄 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇美科太陽(yáng)能科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京利豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 周琪
地址 014010內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市昆都侖區(qū)金屬深加工園區(qū)拓業(yè)路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于提升單晶生長(zhǎng)速度的裝置，包括坩堝本體（1）、硅溶液（2）、導(dǎo)流筒（3）、水冷熱屏（4）和單晶硅棒（5），水冷熱屏（4）的主體內(nèi)部設(shè)有循環(huán)管路（4a），循環(huán)管路（4a）的進(jìn)口與進(jìn)水管路（6）相連、出口與出水管路（7）相連；水冷熱屏（4）的內(nèi)表面設(shè)為散熱面（4b），散熱面（4b）上連接一組散熱片（8），散熱片（8）的寬度由上至下逐漸減小，散熱片（8）的外側(cè)（8a）與散熱面（4b）相連、內(nèi)側(cè)（8b）正對(duì)著單晶硅棒（5）設(shè)置，且每個(gè)散熱片（8）的內(nèi)側(cè)（8b）到單晶硅棒（5）的最短距離相同。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是提高水冷熱屏的散熱效果，增強(qiáng)單晶硅棒生長(zhǎng)速度，提升生產(chǎn)產(chǎn)量，節(jié)約成本。