一種直拉單晶硅用加熱器及單晶生長爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921802643.2 申請日 -
公開（公告）號 CN211546715U 公開（公告）日 2020-09-22
申請公布號 CN211546715U 申請公布日 2020-09-22
分類號 C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 關樹軍;羅才軍;趙智強;張偉新;陳輝 申請（專利權(quán)）人 北京京運通科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京同達信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京京運通科技股份有限公司
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路158號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及直拉單晶硅技術(shù)領域，公開了一種直拉單晶硅用加熱器及單晶生長爐，該直拉單晶硅用加熱器包括圓筒狀的主發(fā)熱體，主發(fā)熱體的筒體上設置有沿周向交替分布的第一縫隙和第二縫隙，第一縫隙與第二縫隙均沿主發(fā)熱體的軸心線方向延伸，且第一縫隙的開口朝向與第二縫隙的開口朝向相反，第一縫隙和第二縫隙將主發(fā)熱體分成多根依次串聯(lián)的發(fā)熱條，第一縫隙和第二縫隙的中間區(qū)域的寬度小于兩端的寬度，以使每根發(fā)熱條中間區(qū)域的寬度大于其兩端的寬度。該直拉單晶硅用加熱器能降低縱向的溫度梯度，進而降低直拉單晶硅中的氧含量，達到減弱直拉單晶硅氧施主效應的目的。??