一種碳化硅生產(chǎn)設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921791855.5 申請日 -
公開（公告）號 CN211545965U 公開（公告）日 2020-09-22
申請公布號 CN211545965U 申請公布日 2020-09-22
分類號 C01B32/956(2017.01)I 分類 無機化學;
發(fā)明人 袁靜;靳秋誠;夏樹勝 申請（專利權(quán)）人 北京京運通科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京同達信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京京運通科技股份有限公司
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路158號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及半導體材料SiC的生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種碳化硅生產(chǎn)設(shè)備，包括：爐體，爐體內(nèi)設(shè)有用于放置坩堝的容置空間；套設(shè)于爐體外周側(cè)的加熱線圈；與加熱線圈連接、且用于驅(qū)動加熱線圈沿其中心軸線的延伸方向動作的驅(qū)動裝置。該碳化硅生產(chǎn)設(shè)備中，加熱線圈在驅(qū)動裝置的驅(qū)動下可以在爐體外周側(cè)上下移動，并對爐體進行加熱，使爐體內(nèi)的碳化硅在長晶過程中在豎直方向形成更好的溫度梯度，有利于提高成晶率，提高晶體品質(zhì)。??