網板曝光機監(jiān)控系統(tǒng)
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201420109580.3 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN203786464U | 公開(公告)日 | 2014-08-20 |
申請公布號 | CN203786464U | 申請公布日 | 2014-08-20 |
分類號 | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術;電影術;利用了光波以外其他波的類似技術;電記錄術;全息攝影術〔4〕; |
發(fā)明人 | 詹文清;羅志雄 | 申請(專利權)人 | 旺昌機械工業(yè)(昆山)有限公司 |
代理機構 | 上海光華專利事務所 | 代理人 | 余明偉 |
地址 | 215334 江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)兵希工業(yè)配套區(qū) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型提供一種網板曝光機監(jiān)控系統(tǒng),用于監(jiān)控網板曝光機的曝光裝置的工作狀態(tài),包括:設定曝光裝置的曝光參數(shù)值及其對應的異常處理操作流程,并透過持續(xù)偵測所述曝光裝置中的光學元件的即時光功率(mW),俾于分析所述偵測到的即時光功率(mW)值與所述曝光參數(shù)值不吻合,即可依據(jù)設定的異常處理操作流程執(zhí)行相應的操作,從而達到可在后續(xù)輕易篩選出曝光不良品并分析導致曝光不良的原因的目的,同時還能透過控制所述曝光裝置自動調整工作狀態(tài),以減少曝光不良品的產生,從而提高生產效率。 |
