網(wǎng)板曝光機(jī)監(jiān)控系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410088620.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104914676A 公開(kāi)（公告）日 2015-09-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN104914676A 申請(qǐng)公布日 2015-09-16
分類(lèi)號(hào) G03F7/20(2006.01)I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 詹文清;羅志雄 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 旺昌機(jī)械工業(yè)（昆山）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所 代理人 余明偉
地址 215334 江蘇省蘇州市昆山開(kāi)發(fā)區(qū)兵希工業(yè)配套區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種網(wǎng)板曝光機(jī)監(jiān)控系統(tǒng)，用于監(jiān)控網(wǎng)板曝光機(jī)的曝光裝置的工作狀態(tài)，包括：設(shè)定曝光裝置的曝光參數(shù)值及其對(duì)應(yīng)的異常處理操作流程，并透過(guò)持續(xù)偵測(cè)所述曝光裝置中的光學(xué)元件的即時(shí)光功率（mW），俾于分析所述偵測(cè)到的即時(shí)光功率（mW）值與所述曝光參數(shù)值不吻合，即可依據(jù)設(shè)定的異常處理操作流程執(zhí)行相應(yīng)的操作，從而達(dá)到可在后續(xù)輕易篩選出曝光不良品并分析導(dǎo)致曝光不良的原因的目的，同時(shí)還能透過(guò)控制所述曝光裝置自動(dòng)調(diào)整工作狀態(tài)，以減少曝光不良品的產(chǎn)生，從而提高生產(chǎn)效率。