一種可實時監(jiān)測液位的化學品供液罐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123003386.6 申請日 -
公開（公告）號 CN216425543U 公開（公告）日 2022-05-03
申請公布號 CN216425543U 申請公布日 2022-05-03
分類號 B65D90/48（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 劉健;郭生華;龔明 申請（專利權）人 沈陽芯源微電子設備股份有限公司
代理機構(gòu) 沈陽科苑專利商標代理有限公司 代理人 白振宇
地址 110168遼寧省沈陽市渾南區(qū)飛云路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于化學品供液罐領域，具體地說是一種可實時監(jiān)測液位的化學品供液罐，包括罐體、封蓋、可伸縮儲液筒、執(zhí)行器位置傳感器及被感應零件，可伸縮儲液筒設置于罐體的內(nèi)腔中、且上端開口而下端密封，被感應零件設置于可伸縮儲液筒的下端，執(zhí)行器位置傳感器安裝于罐體的外部、并檢測被感應零件的高度位置。被感應零件在可伸縮儲液筒的下端隨可伸縮儲液筒上下移動，通過執(zhí)行器位置傳感器測出被感應零件的高度位置，進而得出可伸縮儲液筒內(nèi)腔中液體的高度大小。該過程中執(zhí)行器位置傳感器輸出模擬量信號，轉(zhuǎn)換成的液位高度曲線可為線性、連續(xù)，可對罐體中液體的液位進行實時監(jiān)測，以便隨時補充液體，從而完成對晶圓的不間斷加工。