晶圓搬運(yùn)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210107817.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114446851A | 公開（公告）日 | 2022-05-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114446851A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-06 |
| 分類號(hào) | H01L21/677（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 吳天堯;李舒馳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海恒銳佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 黃海霞 |
| 地址 | 110168遼寧省沈陽市渾南區(qū)飛云路16號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種晶圓搬運(yùn)裝置，包括：抓取手指，用以抓取表面帶有液體的晶圓；手指驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述抓取手指設(shè)置于所述手指驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的末端，以驅(qū)動(dòng)所述抓取手指在第一伸出位置和縮回位置之間移動(dòng)；廢液組件，所述廢液組件設(shè)置于所述抓取手指移動(dòng)路徑的下方，以收集晶圓搬運(yùn)過程中所述晶圓上滴落的液體，通過將所述廢液組件設(shè)置于所述抓取手指移動(dòng)路徑的下方，將位于所述第一伸出位置和所述縮回位置路徑上滴落的液體收集起來，有利于避免液體造成所述晶圓搬運(yùn)裝置本體和所述抓取手指移動(dòng)路徑下方的其他設(shè)備的腐蝕和損壞。 |
