基板處理系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011589962.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114695211A | 公開（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114695211A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 彭博;陳興隆 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海恒銳佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 110168遼寧省沈陽(yáng)市渾南區(qū)飛云路16號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種基板處理系統(tǒng)，包括裝載單元、過(guò)渡單元、工藝單元、至少一個(gè)第一傳送單元、至少一個(gè)第一位置檢測(cè)單元、至少一個(gè)第二傳送單元以及至少一個(gè)第二位置檢測(cè)單元。所述基板處理系統(tǒng)中，包括第一位置檢測(cè)單元和第二位置檢測(cè)單元，從而保證了同一所述第一傳送單元中的機(jī)械臂部分或全部同步運(yùn)動(dòng)，也保證了同一所述第二傳送單元中的機(jī)械臂部分或全部同步運(yùn)動(dòng)，從而能夠保證同時(shí)在所述裝載單元和過(guò)渡單元之間，以及所述過(guò)渡單元和所述工藝單元之間同時(shí)搬運(yùn)多個(gè)基板，提高了基板的處理效率。 |
