一種氣液分離式排廢氣裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123003390.2 申請日 -
公開（公告）號 CN216630228U 公開（公告）日 2022-05-31
申請公布號 CN216630228U 申請公布日 2022-05-31
分類號 B01D53/00（2006.01）I;B01D5/00（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 郭緒斌;史雅君 申請（專利權(quán)）人 沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司
代理機構(gòu) 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 -
地址 110168遼寧省沈陽市渾南區(qū)飛云路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于涂膠顯影機配件領(lǐng)域，具體地說是一種氣液分離式排廢氣裝置，包括排風(fēng)管道、自動排氣閥、排風(fēng)盒及氣液分離板，氣液分離板部分插設(shè)于排風(fēng)盒中，排風(fēng)盒的一端與排風(fēng)管道連通、另一端與自動排氣閥的輸入端密封連通，排風(fēng)盒與自動排氣閥之間通過連接邊沿、卡接邊沿、密封墊B及緊固螺釘?shù)呐浜显O(shè)置進行組裝。本實用新型通過排風(fēng)盒及氣液分離板的配合設(shè)置，可使較多的溶劑或光刻膠殘留物留在排風(fēng)盒內(nèi)，且氣液分離板拆裝方便；通過連接邊沿、卡接邊沿、密封墊B及緊固螺釘?shù)呐浜显O(shè)置，方便排風(fēng)盒與自動排氣閥之間的拆裝，且密封效果好。本實用新型可避免較多的溶劑或光刻膠殘留物進入并存留在自動排氣閥中，整體拆裝清理更方便。