一種CZ直拉法硅單晶爐副室的清潔裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720520263.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206736403U 公開（公告）日 2017-12-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN206736403U 申請(qǐng)公布日 2017-12-12
分類號(hào) C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 馬四海;張笑天;馬青;朱光開;丁磊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽易芯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 安徽合肥華信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 安徽易芯半導(dǎo)體有限公司
地址 230000 安徽省合肥市新站區(qū)新蚌埠路3768號(hào)佳海工業(yè)城一期D84D85幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種CZ直拉法硅單晶爐副室的清潔裝置，其特征在于：包括有中空的伸縮套桿，所述伸縮套桿的端部安裝有支撐臺(tái)，所述支撐臺(tái)的外周邊分布有間隔設(shè)置的支撐桿，所述支撐桿的端部分別安裝有清潔刷頭，所述清潔刷頭包括有弧形刷頭、錐形刷頭、平面刷頭，所述支撐臺(tái)的中部安裝有與伸縮套桿內(nèi)孔連通且可轉(zhuǎn)動(dòng)的中空細(xì)桿，所述中空細(xì)桿以及伸縮套桿之間貫穿一個(gè)細(xì)長(zhǎng)的軟管，所述軟管的頭部設(shè)有多個(gè)圓形噴孔。本實(shí)用新型針對(duì)副室爐體內(nèi)壁表面結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使用3種形狀的彈性刷頭更好的清理不同表面的氧化物，每一處清理到位，提高了清爐的效率，其操作方便簡(jiǎn)單，可以節(jié)省操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度，滿足了使用要求。