一種CZ直拉法單晶硅吊肩的取卸設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720520574.0 申請日 -
公開（公告）號 CN206736406U 公開（公告）日 2017-12-12
申請公布號 CN206736406U 申請公布日 2017-12-12
分類號 C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 馬四海;張笑天;馬青;朱光開;丁磊 申請（專利權(quán)）人 安徽易芯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 安徽合肥華信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 安徽易芯半導(dǎo)體有限公司
地址 230000 安徽省合肥市新站區(qū)新蚌埠路3768號佳海工業(yè)城一期D84D85幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種CZ直拉法單晶硅吊肩的取卸設(shè)備，包括有底座，底座上安裝有豎直方向的立柱主架，立柱主架上安裝有可上下移動(dòng)的升降滑動(dòng)裝置，升降滑動(dòng)裝置包括有支撐平臺，且支撐平臺的上下移動(dòng)由其一端的尼龍帶帶動(dòng)，尼龍帶的運(yùn)行由主架外側(cè)的升降手搖輪控制，支撐平臺上鋪設(shè)有橫向的滑塊導(dǎo)軌，滑塊導(dǎo)軌上滑動(dòng)安裝有移動(dòng)滑塊，移動(dòng)滑塊上設(shè)有托盤，移動(dòng)滑塊由其底端的絲杠驅(qū)動(dòng)。本實(shí)用新型采用機(jī)械裝置來取卸多晶硅吊頭，減少人員碰觸，降低安全隱患，采用手動(dòng)控制方便，機(jī)械方面沒有使用復(fù)雜的電器控制，也沒有采用液壓升降系統(tǒng)，在方便使用，簡單，成本低，效率高等方面很好地解決了生產(chǎn)中這個(gè)人工危險(xiǎn)性大的環(huán)節(jié)。