一種CZ直拉法硅單晶棒取棒裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720737999.7 申請日 -
公開（公告）號 CN206986326U 公開（公告）日 2018-02-09
申請公布號 CN206986326U 申請公布日 2018-02-09
分類號 C30B15/00;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 馬四海;張笑天;馬青;朱光開;丁磊 申請（專利權(quán)）人 安徽易芯半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 安徽合肥華信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 安徽易芯半導(dǎo)體有限公司
地址 230000 安徽省合肥市新站區(qū)新蚌埠路3768號佳海工業(yè)城一期D84D85幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種CZ直拉法硅單晶棒取棒裝置，包括有平板小車，平板小車上設(shè)置有對應(yīng)開合的固定支撐基座和活動支撐基座，固定支撐基座和活動支撐基座上分別設(shè)有由間隔排列豎直分布的支撐桿和連接橫桿組成的固定框，固定框為兩半圓形固定框，固定支撐基座與其上方的固定框之間通過其一側(cè)的固定立柱固定安裝在平板小車上，活動支撐基座與其上方的固定框之間通過其一側(cè)的轉(zhuǎn)動立柱轉(zhuǎn)動安裝在平板小車上，活動支撐基座上的固定框支撐桿上設(shè)有扶手，固定支撐基座上的固定框支撐桿上連接有傾斜輔助機構(gòu)。本實用新型可以方便了單晶硅棒傾斜放置，方便人工取棒，該裝置有一半可以轉(zhuǎn)動完全打開，取卸方便，同時針對大直徑單晶硅棒設(shè)計，提高取棒效率。