一種CZ直拉法硅單晶爐熱場石墨三瓣堝取裝裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720738238.3 申請日 -
公開（公告）號 CN206986327U 公開（公告）日 2018-02-09
申請公布號 CN206986327U 申請公布日 2018-02-09
分類號 C30B15/00;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 馬四海;張笑天;馬青;朱光開;丁磊 申請（專利權(quán)）人 安徽易芯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 安徽合肥華信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 安徽易芯半導(dǎo)體有限公司
地址 230000 安徽省合肥市新站區(qū)新蚌埠路3768號佳海工業(yè)城一期D84D85幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種CZ直拉法硅單晶爐熱場石墨三瓣堝取裝裝置，包括有位于石墨三瓣堝上方的鋼板圓盤，鋼板圓盤的圓周位置分布有多個支桿，支桿分別位于石墨加熱器與石墨三瓣堝之間的空間位置，支桿的底端分別通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動安裝有三瓣堝托手，鋼板圓盤的上方設(shè)置有與其對應(yīng)配合的鋼絲連接圓盤，鋼絲連接圓盤與鋼板圓盤的中部通過吊裝桿連接，鋼絲連接圓盤的圓周位置上分布有與其下方支桿兩側(cè)位置對應(yīng)的鋼絲繩，鋼絲繩的另一端分別穿過鋼板圓盤連接至支桿底端三瓣堝托手兩側(cè)轉(zhuǎn)軸的兩端。本實(shí)用新型極大地節(jié)省了人工的勞動力，提高了生產(chǎn)效率，很好的降低了人員手動搬裝帶來的安全隱患，以及人工搬運(yùn)較重的大尺寸石墨件造成的磕碰石墨件的風(fēng)險性。