基于鈮酸鋰薄膜的空氣隙型剪切波諧振器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020457212.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212163295U | 公開（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212163295U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-15 |
| 分類號(hào) | H03H9/17(2006.01)I | 分類 | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 李國(guó)強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 河源市眾拓光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州凱東知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 河源市眾拓光電科技有限公司 |
| 地址 | 517000廣東省河源市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)興業(yè)大道東邊、高新一路創(chuàng)業(yè)服務(wù)中心三樓317室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了基于鈮酸鋰薄膜的空氣隙型剪切波諧振器，通過(guò)對(duì)電極形狀、電極尺寸、壓電材料取材、厚度等方面的優(yōu)化設(shè)計(jì)，減小了橫波寄生模式的影響，使得諧振器僅工作在剪切波模式下，提高了諧振器的品質(zhì)因數(shù)；在雙拋高阻硅片的一個(gè)表面先后沉積保護(hù)層、犧牲層材料，再將襯底化學(xué)機(jī)械拋光；通過(guò)離子注入與晶圓鍵合的方法，將鈮酸鋰薄膜轉(zhuǎn)移到該拋光的襯底上面，然后利用剝離工藝在鈮酸鋰薄膜表面濺射金屬叉指電極；最后利用干法刻蝕或者濕法腐蝕的辦法去掉犧牲層；隨后將這一面保護(hù)起來(lái)，在另一面重復(fù)之前的生長(zhǎng)，除去保護(hù)層后獲得成品器件；進(jìn)而提高了諧振器的機(jī)械強(qiáng)度與可靠性，可適用于諧振器的大規(guī)模制造。?? |
