一種用于制造硅基異質(zhì)結(jié)電池的工裝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821170004.4 申請日 -
公開（公告）號 CN208767322U 公開（公告）日 2019-04-19
申請公布號 CN208767322U 申請公布日 2019-04-19
分類號 H01L31/18（2006.01）I; H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沙明星 申請（專利權(quán)）人 東騰投資集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京安信方達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 東騰投資集團(tuán)有限公司
地址 100012 北京市朝陽區(qū)紅軍營南路15號院1號樓-2至12層101內(nèi)10層1002A室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種用于制造硅基異質(zhì)結(jié)電池的工裝，用于夾持硅片，包括上下設(shè)置的上蓋和托盤，所述托盤上設(shè)置有用于固定硅片的安裝槽；所述上蓋與托盤之間設(shè)置有限位機(jī)構(gòu)，所述限位機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述安裝槽的邊沿，用于水平限位硅片。本申請涉及硅基異質(zhì)結(jié)電池的制造設(shè)備，提供了一種用于制造硅基異質(zhì)結(jié)電池的工裝，能夠避免由于硅片在工裝中移動而造成的鍍膜失敗問題，保證了穩(wěn)定鍍膜和硅片的邊緣處絕緣，無需其他化學(xué)清洗。