一種高靈敏凹陷槽NOx傳感器結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910789300.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110398521A 公開（公告）日 2019-11-01
申請公布號 CN110398521A 申請公布日 2019-11-01
分類號 G01N27/12（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 郭德明; 王磊; 梁保權(quán); 羅玉軍; 聶元建; 龐邦舜; 李春; 陳絲雨; 張文文; 胡明雪 申請（專利權(quán)）人 廣西玉柴機器集團有限公司
代理機構(gòu) 廣州海心聯(lián)合專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 廣西玉柴機器集團有限公司; 廣西優(yōu)艾斯提傳感技術(shù)有限公司
地址 537000 廣西壯族自治區(qū)玉林市玉柴新城玉柴大道西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高靈敏凹陷槽NOx傳感器結(jié)構(gòu)，屬于氮氧傳感器技術(shù)領(lǐng)域，主要解決的是現(xiàn)有氮氧傳感器靈敏度低、應(yīng)用范圍有限的技術(shù)問題，所述傳感器結(jié)構(gòu)包括襯底，所述襯底設(shè)有至少一個凹陷槽，各所述凹陷槽上方設(shè)有橫跨其兩側(cè)的氮氧敏感單元，所述氮氧敏感單元的兩端連接所述襯底頂部。本發(fā)明可以使氮氧敏感單元與氮氧氣體360°全向接觸，極大提高了傳感器的靈敏度，同時由于氮氧敏感單元與凹陷槽不接觸，襯底與氮氧敏感單元的接觸面積小，發(fā)熱面積小，可以達到降低熱功耗的目的。