諧振器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910851524.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110635775A 公開（公告）日 2019-12-31
申請公布號 CN110635775A 申請公布日 2019-12-31
分類號 H03H3/02（2006.01）; H03H9/02（2006.01）; H03H9/17（2006.01） 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 唐濱; 王家友; 王友良; 賴志國; 唐兆云; 楊清華 申請（專利權(quán)）人 北京中科漢天下電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京藍(lán)智輝煌知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳紅
地址 100080 北京市海淀區(qū)北四環(huán)西路9號5層508-A
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種諧振器，包括：第一電極，位于基板上；壓電層，位于第一電極上；第二電極，位于壓電層上；框架，位于第一電極下方或上方和/或第二電極上方或下方，框架的厚度沿垂直方向漸變。依照本發(fā)明的諧振器，利用傾斜緩變的框架，以簡單的制作工藝高效地提升了FBAR器件的Q值，提高了工藝兼容性和諧振器結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。