一種二氯二氫硅除雜方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510984410.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105480982B 公開(kāi)（公告）日 2018-03-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN105480982B 申請(qǐng)公布日 2018-03-06
分類(lèi)號(hào) C01B33/107 分類(lèi) 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 汪應(yīng)軍;張小玲;黃娣;趙東京 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 湖北晶星科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 441300 湖北省隨州市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)橋頭村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種二氯二氫硅除雜方法，由以下步驟組成：1）將多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中的氣態(tài)的二氯二氫硅通過(guò)二氯二氫硅冷凝器0～10℃脫鹽水進(jìn)行冷凝；2）將步驟1）得到的液態(tài)二氯二氫硅通過(guò)屏蔽泵送至膜分離器內(nèi)；3）將經(jīng)過(guò)膜分離器處理后的二氯二氫硅送至填料塔，對(duì)液態(tài)二氯二氫硅進(jìn)行初提純，得到氣態(tài)二氯二氫硅和富含雜質(zhì)的液態(tài)高沸物；4）通過(guò)吸附劑吸附除去步驟3）得到的氣態(tài)二氯二氫硅中的硼、磷、以及金屬雜質(zhì)，將塔中采出的高純二氯二氫硅經(jīng)過(guò)精密過(guò)濾器過(guò)濾后進(jìn)入產(chǎn)品槽，灌裝后得到成品。該工藝流程簡(jiǎn)單，一次投入費(fèi)用低，二氯二氫硅的純度能夠達(dá)到99.999%以上，其中金屬雜質(zhì)≤10PPb，電阻率≥1000Ω·cm。