一種二氯二氫硅除雜方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201510984410.9 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN105480982B | 公開(kāi)(公告)日 | 2018-03-06 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN105480982B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-03-06 |
分類(lèi)號(hào) | C01B33/107 | 分類(lèi) | 無(wú)機(jī)化學(xué); |
發(fā)明人 | 汪應(yīng)軍;張小玲;黃娣;趙東京 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 湖北晶星科技股份有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
地址 | 441300 湖北省隨州市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)橋頭村 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種二氯二氫硅除雜方法,由以下步驟組成:1)將多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中的氣態(tài)的二氯二氫硅通過(guò)二氯二氫硅冷凝器0~10℃脫鹽水進(jìn)行冷凝;2)將步驟1)得到的液態(tài)二氯二氫硅通過(guò)屏蔽泵送至膜分離器內(nèi);3)將經(jīng)過(guò)膜分離器處理后的二氯二氫硅送至填料塔,對(duì)液態(tài)二氯二氫硅進(jìn)行初提純,得到氣態(tài)二氯二氫硅和富含雜質(zhì)的液態(tài)高沸物;4)通過(guò)吸附劑吸附除去步驟3)得到的氣態(tài)二氯二氫硅中的硼、磷、以及金屬雜質(zhì),將塔中采出的高純二氯二氫硅經(jīng)過(guò)精密過(guò)濾器過(guò)濾后進(jìn)入產(chǎn)品槽,灌裝后得到成品。該工藝流程簡(jiǎn)單,一次投入費(fèi)用低,二氯二氫硅的純度能夠達(dá)到99.999%以上,其中金屬雜質(zhì)≤10PPb,電阻率≥1000Ω·cm。 |
