上芯機(jī)及其工件臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310407812.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103474375B 公開(kāi)（公告）日 2016-07-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN103474375B 申請(qǐng)公布日 2016-07-06
分類(lèi)號(hào) H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 晏承亮;李莉;王利萍;胡伍妹;鐘小剛;顏學(xué)優(yōu);黃鐘堅(jiān);蔣偉雄 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廣東風(fēng)華芯電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 廣東風(fēng)華芯電科技股份有限公司;廣東風(fēng)華高新科技股份有限公司
地址 510000 廣東省廣州市蘿崗區(qū)科學(xué)城南翔二路10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種工件臺(tái)包括底座、軌道底板及壓板；所述底座上開(kāi)設(shè)有長(zhǎng)條狀的導(dǎo)槽，所述導(dǎo)槽為U形槽；所述軌道底板由黑色工程陶瓷材料制成，所述軌道底板設(shè)置于所述導(dǎo)槽的底壁；所述壓板固定于所述導(dǎo)槽開(kāi)口處，并位于所述軌道底板上方。同時(shí)還提供了一種使用上述工件臺(tái)的上芯機(jī)。上述上芯機(jī)及其工件臺(tái)中采用黑色工程陶瓷材料制成的軌道底板，軌道底板在反復(fù)使用中不會(huì)出現(xiàn)變白的現(xiàn)象，提高了芯片拾取以及打線時(shí)圖像的光學(xué)識(shí)別的精確性，提高了生產(chǎn)的精度。同時(shí)無(wú)需將軌道底板取下進(jìn)行加黑處理，提高了生產(chǎn)效率，降低了成本。