一種氮化物材料激光剝離后的表面處理方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201710384470.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN107221496B | 公開（公告）日 | 2020-04-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN107221496B | 申請(qǐng)公布日 | 2020-04-24 |
| 分類號(hào) | H01L21/306;H01L33/00 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 汪青;梁文林;任俊杰;羅家懋;張集發(fā);童玉珍;孫明;張國(guó)義 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 東莞市中鎵半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 東莞市中鎵半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 523000 廣東省東莞市企石鎮(zhèn)東平科技工業(yè)園 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種氮化物材料激光剝離后的表面處理方法，包括以下步驟：通過(guò)激光剝離方式制備得到氮化物復(fù)合襯底或者氮化物單晶襯底；選擇一腔室，往該腔室中填充具有揮發(fā)性的腐蝕液體，將氮化物復(fù)合襯底或者氮化物單晶襯底放入該腔室中的液面上方，對(duì)腔室進(jìn)行密封處理使該腔室形成密閉的腔室，放置預(yù)定時(shí)間T，利用腐蝕液體揮發(fā)產(chǎn)生的氣氛對(duì)氮化物復(fù)合襯底或者氮化物單晶襯底的激光剝離后的表面進(jìn)行腐蝕處理；對(duì)腔室中的氮化物復(fù)合襯底或氮化物單晶襯底進(jìn)行清洗、吹干，完成對(duì)激光剝離表面的氣氛腐蝕處理。本發(fā)明利用氣氛腐蝕方法對(duì)剝離后的氮化物表面進(jìn)行處理，去除剝離表面上殘余的金屬等雜質(zhì)，改善剝離表面的成份和粗糙度，提高后期同質(zhì)外延效果和芯片性能。 |
