含鎳三氯化鐵蝕刻廢液的再生方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200310120087.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN1540036A 公開（公告）日 2004-10-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN1540036A 申請(qǐng)公布日 2004-10-27
分類號(hào) C23F1/46 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李華;李文煥;蔡體偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海新芝電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申匯專利代理有限公司 代理人 吳寶根
地址 200040上海市漕河涇開發(fā)區(qū)欽江路288號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種含鎳三氯化鐵蝕刻廢液的再生方法，包括如下步驟：(a)廢液濃縮：在一定壓力溫度條件下使含鎳三氯化鐵蝕刻廢液的原液濃縮到初始體積的70％～80％；(b)冷卻結(jié)晶：將上述濃縮后的含鎳三氯化鐵蝕刻廢液冷卻至40℃～45℃，然后向其中添加1.5倍～2倍體積的含鎳三氯化鐵蝕刻廢液原液，并將該混合溶液的溫度控制在≤17℃冷卻結(jié)晶24小時(shí)～60小時(shí)，得到含有微量鎳的FeCl3·6H2O晶體；(c)固液分離：將上述FeCl3·6H2O晶體從母液中分離；經(jīng)過上述步驟得到的FeCl3·6H2O晶體按照蝕刻液工藝要求添加一定量的水即可重新調(diào)配成三氯化鐵蝕刻液。該方法生產(chǎn)成本低、操作簡(jiǎn)單，是一種環(huán)保經(jīng)濟(jì)型處理含鎳三氯化鐵蝕刻廢液的方法。