一種基于含高濃度硼納米硅漿的高效電池及制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911359161.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113035996A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113035996A 申請公布日 2021-06-25
分類號 H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0352 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳勁風;銀波;范協(xié)誠 申請（專利權）人 新疆硅基新材料創(chuàng)新中心有限公司
代理機構 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 羅建民;鄧伯英
地址 831500 新疆維吾爾自治區(qū)烏魯木齊市高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)甘泉堡經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)（工業(yè)園）眾欣街2249號研發(fā)樓六層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種基于含高濃度硼納米硅漿的高效電池的制作方法，包括：S1，取硅片，清洗制絨，在硅片正面設定SE區(qū)域，并在所述SE區(qū)域印刷含磷納米硅漿；S2，在POCl3氛圍中進行磷擴散，在SE區(qū)域形成磷重摻區(qū)域，得到磷硅玻璃；S3，去除磷硅玻璃，進行背面刻蝕，在硅片正面沉積減反膜，在硅片背面沉積鈍化膜；S4，在硅片背面的鈍化膜上印刷高濃度硼納米硅漿，再用激光掃描，以實現(xiàn)定域摻硼；S5，在硅片背面印刷鋁漿，在硅片正面的所述SE結(jié)構上印刷銀漿；S6，進行燒結(jié)，形成電池。本發(fā)明還公開一種采用上述方法制作的高效電池。本發(fā)明通過形成SE結(jié)構和進行局部定域摻硼，降低燒結(jié)溫度，從而有效實現(xiàn)電池效率的提升。