一種納米壓印制備硅基OLED微型顯示器的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110453532.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113193157A | 公開（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113193157A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-30 |
| 分類號(hào) | H01L51/56;H01L27/32;G03F7/00 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 茆勝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 睿馨（珠海）投資發(fā)展有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海洞鑒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉少偉 |
| 地址 | 519000 廣東省珠海市橫琴新區(qū)寶華路6號(hào)105室-32897（集中辦公區(qū)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種納米壓印制備硅基OLED微型顯示器的方法，包括一下步驟：在所述基底的表面涂膜光刻膠；將具有特定圖形結(jié)構(gòu)的納米壓印模板以一定的壓力壓在所述光刻膠上，經(jīng)熱固化或紫外固化后，所述光刻膠上形成與所述模板圖案對(duì)應(yīng)微結(jié)構(gòu)；去除所述基底上的殘余的光刻膠，使所述基底上留有與陽極像素圖形互補(bǔ)的微結(jié)構(gòu)；在所述基底上通過蒸鍍工藝形成陽極層。有益效果是：使用納米壓印技術(shù)制備陽極像素陣列，采用預(yù)制貼合的方式一次性完成彩色過濾層和玻璃蓋片工藝，在硅基OLED產(chǎn)線上徹底取消了設(shè)備投入較大的光刻工藝。本發(fā)明提出的技術(shù)方的制備工藝更加簡(jiǎn)單、生產(chǎn)成本低廉，能有效提高良品率及產(chǎn)能。 |
