一種梯度膜層的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110455121.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113512700A 公開（公告）日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN113512700A 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類號(hào) C23C14/24（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 茆勝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 睿馨（珠海）投資發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海洞鑒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉少偉
地址 519000廣東省珠海市橫琴新區(qū)寶華路6號(hào)105室-32897（集中辦公區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種梯度膜層的制備方法，包括以下步驟：將基板置于蒸發(fā)源的上方，并保持靜止?fàn)顟B(tài)；所述蒸發(fā)源位于所述基板的下方，且在豎直方向上，所述蒸發(fā)源的中心處與所述基板的中心相對(duì)應(yīng)；啟動(dòng)蒸發(fā)直至完成蒸鍍工藝，即得具有梯度膜層的器件。有益效果是：通過對(duì)某一膜層采用基板靜止進(jìn)行蒸鍍的方法，可在基板上一次性得到一系列所述膜層厚度、摻雜率不同的器件，極大的提升了技術(shù)研究、器件開發(fā)、工藝優(yōu)化的工作效率；使用本發(fā)明的方法在同一基板上得到的多個(gè)器件，除去梯度膜層外，其他膜層的特性完全一致，有利于橫向比較特定膜層的差異對(duì)器件帶來的影響。