一種用于氣體流量測量的同相平面壓電陣列結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120223895.0 申請日 -
公開（公告）號 CN213932677U 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN213932677U 申請公布日 2021-08-10
分類號 G01F1/66 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉立國;徐良才;于洋;李保陽 申請（專利權(quán)）人 青島積成電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 代理人 苗峻;孫亞琳
地址 266071 山東省青島市市南區(qū)寧夏路288號青島軟件園3號樓601室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于氣體流量測量的同相平面壓電陣列結(jié)構(gòu)。其包括壓電本體，其特征是：所述壓電本體的截面為圓形或矩形，所述壓電本體被多條平行的橫向縫和多條平行的縱向縫分割成M*N個(gè)陣列的柱狀的壓電陣元，所述壓電本體的上表面設(shè)置有公共電極板A與每個(gè)所述壓電陣元連接，所述壓電本體的下表面設(shè)置有公共電極板B。本實(shí)用新型通過將壓電本體分割成M*N個(gè)壓電陣元，采用同相平面陣列，可以在二維壓電平面內(nèi)的兩個(gè)正交坐標(biāo)分別與壓電平面法向所構(gòu)成的兩個(gè)平面內(nèi)的聲束都得以聚集，可有效地提高發(fā)射信號的輻射強(qiáng)度和接收信號的靈敏度，有利于流量測量精度的提高。