一種大尺寸硅單晶生產(chǎn)用單晶爐冷卻散熱裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121012097.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215560786U 公開（公告）日 2022-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN215560786U 申請(qǐng)公布日 2022-01-18
分類號(hào) C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 楊昊;唐碧見;黃懷玉;劉雅旭 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 弘元新材料（包頭）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京睿博行遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張燕平
地址 014030內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市青山區(qū)裝備制造產(chǎn)業(yè)園區(qū)管委會(huì)A座516室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種大尺寸硅單晶生產(chǎn)用單晶爐冷卻散熱裝置，包括：基座，其水平設(shè)置于廠房?jī)?nèi)部，且所述基座的上端一側(cè)安裝有固定座，并且所述固定座的內(nèi)部左側(cè)安裝有循環(huán)冷卻水箱；通管，其固定安裝于所述基座的內(nèi)部，且所述通管的上端與所述水泵的一端相互連接；冷凝管，其連接于所述通管的一端，且所述冷凝管螺旋纏繞在單晶爐本體的外側(cè)；流通室，其開設(shè)于所述基座的上端一側(cè)，且所述流通室的上端左右兩側(cè)分別安裝有單向流入閥和單向流出閥；第一連桿，其軸連接于所述基座的中部一側(cè)。該大尺寸硅單晶生產(chǎn)用單晶爐冷卻散熱裝置，可減少冷凝管在使用時(shí)的消耗，增強(qiáng)冷卻效果，同時(shí)可對(duì)氬氣的流量進(jìn)行控制，避免浪費(fèi)。