一種薄膜的水汽/氣體滲透率測試系統(tǒng)與方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610608232.4 申請日 -
公開（公告）號 CN106153519A 公開（公告）日 2016-11-23
申請公布號 CN106153519A 申請公布日 2016-11-23
分類號 G01N15/08(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王希祖;陳志寬 申請（專利權(quán)）人 方圓環(huán)球光電技術(shù)鹽城有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 224004 江蘇省鹽城市科教城創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)基地5號樓4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種薄膜的水汽/氣體滲透率測試方系統(tǒng)與方法，可用于各種透明/非透明薄膜和板材的檢測，尤其涉及到有機(jī)電子器件的超高水汽/氧氣阻擋率的柔性封裝薄膜和基底的測試，這是一種建立在分子化學(xué)反應(yīng)的計(jì)量方法。利用活潑金屬探測層接觸到，從待測樣品透過的水汽/氣體后，所產(chǎn)生反應(yīng)及所引起的金屬探測層電阻值的變化曲線，再通過定量分析電阻率與原子層厚度的變化和定標(biāo)，可以計(jì)算得到樣品的水汽/氣體滲透率。